設備參數：
設備特性：
1、采用機械傳動和運動控制技術。
2、設計新穎、結構合理、操控方便。
3、外形美觀、性能穩定、品質可靠。
| 外形尺寸 |
9米x2.2米x2.2米（長x寬x高） |
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兼容现有產品尺寸 |
≤7吋 |
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設備精度 |
±0.02mm |
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FFU過濾精度 |
0.3um，99.999% |
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電源、氣源 |
AC220V/50HZ/12KW 0.4-0.8Mpa |
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UPH |
1200 |
設備特性：
1、采用機械傳動和運動控制技術。
2、設計新穎、結構合理、操控方便。
3、外形美觀、性能穩定、品質可靠。
